一、半（bàn）導體設備洗滌自動烘幹主要技術參數（shù）
1、內膽尺（chǐ）寸：左（zuǒ）右雙內膽（dǎn），單個內膽尺寸：寬2700*高1400*深2600mm；
2、外形尺寸（約）：寬6610*高3500*深3025mm；
3、溫度範圍：常溫～+300℃可調 ；
4、溫度波動度：≤±1℃；
5、溫度均勻度：≤±5℃(空載恒下測（cè）試)；
6、升溫速率：≤8℃/min；
7、潔（jié）淨度：Class100級（≥0.5μm塵粒（lì）≤3.5顆/升（shēng））（工作室）；
8、外殼溫度：溫升不超過環境+25℃，門周邊除（chú）外。
9、電源（yuán）：三相五（wǔ）線製，220V，50HZ；
10、總功率：120KW；

二、半導體設備洗滌自（zì）動烘幹（gàn）箱體結（jié）構特征
1、外殼材料：采用2mm厚Q235冷軋鋼板（強度、塑性和焊接綜合性能最好）折彎焊接（jiē）製作；
2、內膽材料：采用1.5mm厚SUS304不鏽鋼板製作；保持內膽清潔無塵，防生鏽、耐腐蝕；內部（bù）鈑金與保溫層全部滿焊，防止（zhǐ）保溫層隔熱棉泄漏，以保證潔淨度。
3、箱體（tǐ）骨（gǔ）架：采用50*50*3mm角（jiǎo）鐵（tiě）製作（zuò）；保持箱體內外各個麵的承載強度，並保留（liú）熱脹冷縮係數，可防止箱體變形。
4、密封材料：密封條采用（yòng）進口高溫矽膠製作（zuò），可耐（nài）溫不變形，門與箱體連接密封（fēng），加強密封效果；
5、門：自動上下開門（mén），從下往上開啟，共計2扇門，左右獨立控製。配有升降馬達，勻速控製。
三、半導體設（shè）備洗滌自動烘幹培訓
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