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半導體設備洗滌自動烘幹-蘇州(zhōu)晶洲

來源:本站 最後更新:2020-07-24 09:22:06 作者:耐(nài)美特智能烘幹設備 瀏覽:6038次

一、半導體設(shè)備洗滌自動烘幹主要技術參數
1、內(nèi)膽尺(chǐ)寸:左右雙內膽,單個(gè)內膽尺寸:寬2700*高1400*深2600mm;
2、外形尺寸(約):寬6610*高(gāo)3500*深3025mm;
3、溫度範圍:常溫~+300℃可(kě)調 ;
4、溫度波動度:≤±1℃;
5、溫度均勻度:≤±5℃(空載恒(héng)下測試);
6、升溫速率:≤8℃/min;
7、潔淨度:Class100級(≥0.5μm塵粒(lì)≤3.5顆/升)(工作室);
8、外殼溫度:溫升不超過環境+25℃,門(mén)周邊除外。
9、電源:三相五線(xiàn)製,220V,50HZ;
10、總功率:120KW;

二(èr)、半導體設備洗滌自動烘幹箱體結構(gòu)特征
1、外殼材料:采用2mm厚Q235冷軋鋼板(強度、塑性和焊接綜合性能好)折(shé)彎焊(hàn)接製作;
2、內膽材料:采用1.5mm厚SUS304不鏽(xiù)鋼板製作;保持內膽清(qīng)潔無塵,防生鏽、耐腐蝕(shí);內部(bù)鈑(bǎn)金與保溫層全部滿焊(hàn),防止保溫層隔熱棉泄漏,以保證潔淨度(dù)。
3、箱體骨架:采(cǎi)用50*50*3mm角(jiǎo)鐵(tiě)製作;保持箱體內外各個麵的承載強度,並保留熱脹冷縮係數,可防止箱體變形。
4、密封材料:密(mì)封條采用進口高溫矽膠製作,可耐(nài)溫不變形,門與箱體連接(jiē)密封,加強密封效(xiào)果;
5、門:自動上下開門,從下往上開啟,共計2扇門,左右獨(dú)立(lì)控製。配有升降馬達,勻速控製。
三、半導體(tǐ)設備洗滌自動(dòng)烘幹培訓
進行技術培訓

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