一、半導體設備洗（xǐ）滌自動烘幹主要技術參數
1、內膽尺寸：左右雙內膽，單個內膽尺寸：寬2700*高1400*深2600mm；
2、外形尺（chǐ）寸（約）：寬6610*高3500*深3025mm；
3、溫度範圍：常溫～+300℃可調 ；
4、溫度（dù）波動度：≤±1℃；
5、溫度均勻度：≤±5℃(空載恒下測（cè）試)；
6、升溫速率：≤8℃/min；
7、潔淨度：Class100級（≥0.5μm塵粒≤3.5顆/升（shēng））（工作室）；
8、外殼溫度（dù）：溫（wēn）升不超過環境（jìng）+25℃，門周邊除外（wài）。
9、電源：三相（xiàng）五線製，220V，50HZ；
10、總功率：120KW；
二、半導體設備洗滌自動烘幹箱（xiāng）體結（jié）構特征
1、外殼材料：采用2mm厚Q235冷軋鋼板（強度、塑（sù）性和焊接綜合性能好）折（shé）彎焊接製作；
2、內膽材料（liào）：采（cǎi）用1.5mm厚SUS304不鏽鋼板製作；保持內膽清潔無塵，防（fáng）生鏽、耐腐蝕；內部鈑金與保溫層全部滿（mǎn）焊，防止保溫層隔熱棉泄漏，以（yǐ）保證潔淨（jìng）度。
3、箱體骨架：采用50*50*3mm角鐵製作；保持箱（xiāng）體內外各個麵的承載強度，並保（bǎo）留熱脹冷縮係數，可（kě）防止箱體變（biàn）形。
4、密封材料：密封條采用（yòng）進口高溫矽膠製作，可（kě）耐溫不變形，門與箱體連接密封，加強密封效果；
5、門：自動上下開（kāi）門，從下往上開啟（qǐ），共計2扇門，左右獨立控製。配有（yǒu）升降馬達，勻速控（kòng）製。
三（sān）、半導體（tǐ）設備洗滌自動烘幹培訓
進行技術培訓（xùn）
